《Academic Frontiers Lecture Series 第186期》李星辉 副教授：高端制造与先进半导体产业中的光学测量与检测技术

• 题目: 高端制造与先进半导体产业中的光学测量与检测技术
• 主讲人：李星辉 副教授 @ 清华大学深圳国际研究生院
• 时间：2026年3月13日 16:20-18:10
• 地点：南方科技大学一科报告厅

主讲人简介

李星辉，清华大学深圳国际研究生院副教授，博士生导师，2014年博士毕业于日本东北大学，长期从事光载信息领域的研究，主持国家自然基金面上项目（2项）、广东省自然基金重点项目、博士后基金特别资助以及与华为、比亚迪、中国电子科技集团等头部企业合作项目等，在国际知名期刊及学术会议发表论文200余篇，包括《International Journal of Extreme Manufacturing》、《IEEE TIP》、《IEEE TCSVT》、《Journal of Manufacturing System》、《Light:Advanced Manufacturing》等，论文总引用4000余次（谷歌学术），H因子41。2022-2025连续4年入选“全球Top2%科学家”榜单，曾获得“Highly Cited Award”、中国国际发明展览会金奖、NMME期刊突出贡献奖及多个会议的Best Paper Award。他曾获得2023清华大学年度教学优秀奖、清华大学优秀硕士学位论文指导老师、清华大学青年教师教学大赛工科组三等奖等荣誉。从教近十年来，他指导研究生90余位，包括4位博士毕业生，34位硕士毕业生，毕业/在读7名国际留学生。他主讲/合讲课程包括《Metrology in Semiconductor Industry》、《Test and Measurement Technology》、《仪器行业》、《机器人与仿生学》、《光学测量专题实验》等，三次获得课程/教学评估前5%。

讲座简介

本报告综述了报告人过去十余年间，面向高端制造与先进半导体产业需求，在光学精密测量与检测领域开展的系统性研究工作。主要内容包括：以光栅干涉测量为核心、面向先进制造超精密定位的研究，针对微纳结构与半导体薄膜测量的光谱共焦传感研究，以及服务于高精度三维形貌测量的高性能结构光三维测量研究。上述研究以各类光学技术的独特特性为核心方法，有力推动了精密测量理论、技术与仪器的发展，各方向相互协同、优势互补，为解决工程实际中的复杂测量难题奠定了坚实的技术基础。

海报链接